服务电话：18952401854
MT-300半导体检查显微镜
技术参数
|
配 置 |
MT-200 |
MT-300 |
MT-400 |
|
|
测量范围(mm) |
X |
200 |
300 |
400 |
|
Y |
150 |
200 |
300 |
|
|
Z |
150 |
150 |
150 |
|
|
工作台 |
铝合金台面 |
400*280 |
500*350 |
600*500 |
|
玻璃台面 |
245*192 |
350*250 |
450*350 |
|
|
承 重 |
15Kg |
|||
|
影像及 |
CCD |
630万 1/1.8"高分辨率彩色相机/HDMI智能量测相机 |
||
|
光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
|||
|
三目观察筒 |
三目观察筒（分光比50：50），0.65X CTV接口 |
|||
|
目镜 |
PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字刻度） |
|||
|
物 镜 |
5X物镜（明场半导体物镜）， 5X/0.15 WD 44mm |
|||
|
10X物镜（明场半导体物镜），10X/0.3 WD 34mm |
||||
|
20X物镜（明场半导体物镜），20X/0.35 WD 29mm |
||||
|
50X物镜（明场半导体物镜），50X/0.5 WD 17mm |
||||
|
显示分辨率 |
0.001mm |
|||
|
测量精度 |
X/Y轴 |
（3+L/200）um |
||
|
Z轴(选配) |
（5+L/200）um |
|||
|
重 复 性 |
2um |
|||
|
调焦系统 |
手 动 |
Z轴行程150mm， 粗微调同轴，左右手柄（粗调：40mm/圈、微调：0.02mm/圈） |
||
|
照明系统 |
反射：柯勒照明系统，5W白色LED |
|||
|
透射：5W白色LED， |
||||
|
偏光装置 |
直偏、检偏器 |
|||
|
台式电脑 |
8G/500G/DVD/键鼠/+21.5液晶显示器 |
|||
|
测量软件 |
二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示， |
|||
|
校正片 |
0.01mm |
|||
|
电 源 |
90～240V电压，50HZ |
|||
|
仪器重量 |
320Kg、 |
|||
|
可供附件 |
0.5X CTV接口 |
|||
|
DIC微分干涉片 |
||||
|
100X物镜（明场无限远）， 100X/0.80 WD2.1mm选配 |
||||
|
|
||||
