MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。 随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
点直径*
大约10um
频率响应范围*
DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
测量速度范围
法向*
50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
切向*
150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
滤波设置
高通、低通滤波设置
显微镜
目镜
放大倍率
W.D
光束直径
5X
34mm
30um
10X
20um
20X/50X
20mm/13mm
10um/2um
X-Y平台
尺寸
100X100mm
移动范围
+/-10mm
分辨率
0.001mm
*可根据客户要求，并可为客户定制
苏公网安备 32059002001842号
