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主营产品：
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产品详情
简单介绍：
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详情介绍：
OMT-5R半导体暗视场检查显微镜
OMT-5R半导体检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰，衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的，作为**工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察，广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
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技术规格
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观察头
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30°铰链式三目（50mm-75mm）
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目镜
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WF10×/25mm
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WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
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转换器
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带DIC插孔明暗场五孔转换器
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物镜
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平场无限远长工作 距离明暗场物镜：
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm选配 80×/0.75B.D/W.D.4mm选配 100×/0.80B.D/W.D.3mm选配 |
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平台
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双层移动平台
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平台尺寸: 350mm×310mm
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移动范围：250mm×250mm
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滤色片
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插板式滤色片（绿、蓝、中性）
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调焦
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粗、微动同轴调焦，采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm
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光源
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落射照明：带孔径光栏和视场光栏，卤素灯12V/100W，AC85V-230V亮度可调节
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偏光装置
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检偏镜可360度转动，起偏镜、检偏镜均可移出光路
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检测工具
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0.01mm
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可供附件
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目镜：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
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130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜
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平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
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二维测量软件
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专业金相图像分析软件
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DIC（10×、20×、40×、100×）
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摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
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压平机
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数字相机OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 测量软件OMT-1.5D
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OMT-5R特点说明
1． 采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2． 拓展了物镜的复用技术，无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法，并在每一
观察法中均提供高清晰的图像质量。
3． 采用非球面Kohler照明，增加观察亮度。
4． WF10X（Φ25）超大视野目镜，长工作距离明暗场金相物镜。
5． 可插DIC微分干涉装置的转换器。
