产品名称：奥林巴斯尼康舜宇江南MX51工业检测显微镜

MX51工业检测显微镜

 紧凑的设计实现小的占地空间

• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能

• 标配158×158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)

• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查

• 采用防静电设计，极大方便磁头检查

• 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准

光学系统		UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
显微镜镜体		Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 μm） 调焦机构张力可调 有调焦上限位机构
照明系统		BX-KMA 明视场照明器	BX-RLA2 明视场/暗视场照明器
	观察方式转换	—	明视场-暗视场滑块转换法
	可适用观测模式	①明视场法 ②DIC微分干涉衬比法 ③偏振光照明法	①明视场法 ②暗视场法 ③DIC微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤红外光
光源		6V30W瓦卤素灯 灯座: U-LS30-4 变压器: TL-4	12V100W瓦卤素灯 灯座: U-LH100L-3 电源整合在MX51显微镜中
透射照明		明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用）
观察镜筒		U-BI30-2 宽场双目镜筒， U-TR30-2 宽场三目镜筒，  U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22)，U-SWTR 超宽场三目镜筒，MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)
物镜换镜转盘		U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)
载物台		U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台 MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台