• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计,极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正光学系统)
显微镜镜体
Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32 mm(从焦面上行2 mm和下行30 mm)
行程相同:15 mm(配合透射光照明)
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm(1个单位1 μm)
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构
照明系统
BX-KMA 明视场照明器
BX-RLA2 明视场/暗视场照明器
观察方式转换
—
明视场-暗视场滑块转换法
可适用观测模式
①明视场法
②DIC微分干涉衬比法
③偏振光照明法
②暗视场法
③DIC微分干涉衬比法
④偏振光照明法
⑤红外光
光源
6V30W瓦卤素灯
灯座: U-LS30-4
变压器: TL-4
12V100W瓦卤素灯
灯座: U-LH100L-3
电源整合在MX51显微镜中
透射照明
明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
观察镜筒
U-BI30-2 宽场双目镜筒, U-TR30-2 宽场三目镜筒,
U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22),U-SWTR 超宽场三目镜筒,MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)
物镜换镜转盘
U-5RE-2, U-6RE
U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)
载物台
U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台
MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台
苏公网安备 32059002001842号