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OMT-5R半导体检查显微镜[产品打印页面]

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产品名称: OMT-5R半导体检查显微镜
产品型号: OMT-5R
产品展商: 欧米特
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简单介绍

OMT-5R半导体检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为上等工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。


OMT-5R半导体检查显微镜  的详细介绍
         OMT-5R半导体检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为上等工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
技术规格            
观察头
  30°铰链式三目(50mm-75mm)
目镜
  WF10×/25mm
  WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
转换器
  带DIC插孔明暗场五孔转换器
物镜
平场无限远长工作 距离明暗场物镜:
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm选配
80×/0.75B.D/W.D.4mm选配
100×/0.80B.D/W.D.3mm选配
平台
  双层移动平台
  平台尺寸: 350mm×310mm
  移动范围:250mm×250mm
滤色片
  插板式滤色片(绿、蓝、中性)
调焦
  粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm
光源
  落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节
偏光装置
  检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
检测工具
  0.01mm
可供附件
  目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
  130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜
  平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
  80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
   二维测量软件
  专业金相图像分析软件
  DIC(10×、20×、40×、100×)
  摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
  压平机
  数字相机OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C    测量软件OMT-1.5D
 
OMT-5R特点说明
1.  采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2.  拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一 
       观察法中均提供高清晰的图像质量。
3.  采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4.  WF10X(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。
5.  可插DIC微分干涉装置的转换器。

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