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大尺寸测量显微镜 STM6-LM 规格
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光学系统
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UIS2光学系（无限远校正）
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机身
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观察方法
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光
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反射/透射
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反射/透射
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照明系统
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10 WLED白色照明（反射照明用），10 WLED绿色照明（透射用）
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对焦单元
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电动/手动
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电动
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行程
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205 mm
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粗调速度
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4.8 mm/sec
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微调速度（可选）
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800 μm/400 μm/200 μm/50 μm （旋钮旋转一周） 四个级别
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大样本高度
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205 mm（金相物镜），150 mm（测量物镜）
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Z轴测量范围
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205 mm（金相物镜），150 mm（测量物镜）
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物镜
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测量物镜/金属物镜
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镜筒
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正像单目观察筒，正像三目观察筒（100：0/ 0：100 ）
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载物台
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行程
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250(X)x150(Y)mm
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测量精度
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X轴：（3+5L/250）μm，Y轴：（3+3L/150）μm［L：测量长度（mm）］
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计数器
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小读数分辨率
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0.1 μm/0.5 μm（可选）
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选件
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运算装置/自动调焦/辅助对焦
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外形尺寸
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684(W)x579(D)x843(H)mm
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重量
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170 kg（标准组合）
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