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MX51工业检测显微镜[产品打印页面]

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产品名称: MX51工业检测显微镜
产品型号: MX51工业检测显微镜
产品展商: 其他品牌
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简单介绍

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MX51工业检测显微镜  的详细介绍
MX51工业检测显微镜

• 紧凑的设计实现小的占地空间

• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能

• 标配158×158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)

• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查

• 采用防静电设计,极大方便磁头检查

• 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准

 

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正光学系统)

显微镜镜体

Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32 mm(从焦面上行2 mm和下行30 mm

行程相同:15 mm(配合透射光照明)

Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm1个单位1 μm

调焦机构张力可调

有调焦上限位机构

照明系统

 

BX-KMA 明视场照明器

BX-RLA2 明视场/暗视场照明器

观察方式转换

明视场-暗视场滑块转换法

可适用观测模式

明视场法

DIC微分干涉衬比法

偏振光照明法

明视场法

暗视场法

DIC微分干涉衬比法

偏振光照明法

红外光

光源

6V30W瓦卤素灯

灯座: U-LS30-4

变压器: TL-4

12V100W瓦卤素灯

灯座: U-LH100L-3

电源整合在MX51显微镜中

透射照明

明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)

观察镜筒

U-BI30-2 宽场双目镜筒, U-TR30-2 宽场三目镜筒, 

U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22)U-SWTR 超宽场三目镜筒,MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)

物镜换镜转盘

U-5RE-2, U-6RE

U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)

载物台

U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台

MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台













































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