显微激光测振仪
显微激光测振仪特点：
非接触测量，无负载；
激光光斑极小，微米级；
优越的带宽和动态范围；
高空间分辨率；
工作距离可选；
高灵活性、易安装、易操作；
振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高
配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置。
显微激光测振仪扩展功能：
利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性(可定制)
通过白光干涉测量物体形貌特性(可定制)
显微激光测振仪应用领域：
微机电系统（MEMS）动态测试
生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
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显微激光测振仪技术参数 |
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工作温度 |
3℃ - 45℃ |
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工作湿度 |
<90% |
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电 源 |
220 - 240Vrms，50-60Hz |
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激光波长 |
He-Ne Laser 632.8nm |
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速度量程① （可选） |
50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s |
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输出电压 |
±10V |
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频率范围 |
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根据解调卡而定） |
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滤波设置 |
高通低通滤波设置 |
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速度分辨率② |
1um/s |
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位移分辨率 |
0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
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大线性误差 |
1.00% |
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机 架 （标准配置） |
反射用机架，低手位粗微同轴调焦机构。 粗调行程25mm，微调精度0.001mm。 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。 内置100-240V宽电压系统。 |
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光学参数 |
检测器尺寸：1/2 测量距离：9mm（使用10X物镜时） |
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观测装置 |
CMOS数码相机： 320万像素（USB2.0） |
注 ① 可以根据客户要求选择适当量程
②采用高分辨率解调卡，速度分辨率可达0.02um/s