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暗视场观察法
日期：2024-04-27 07:45
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摘要：
暗视场观察法
暗视场可以让用户观察来自样本散射和衍射的光线。光源的光线会先穿过照明装置中的环形光学照明器件，然后在样本上聚焦。样本上的光线只是由Z 轴上的瑕疵反射形成的。因此，用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本，包括晶圆。
