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显微激光测振仪MLV-100
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。
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点直径* |
大约10um |
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频率响应范围* |
DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz |
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测量速度范围 |
法向* |
50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s |
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切向* |
150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s |
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滤波设置 |
高通、低通滤波设置 |
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显微镜 |
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目镜 |
放大倍率 |
W.D |
光束直径 |
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5X |
34mm |
30um |
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10X |
34mm |
20um |
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20X/50X |
20mm/13mm |
10um/2um |
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X-Y平台 |
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尺寸 |
100X100mm |
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移动范围 |
+/-10mm |
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分辨率 |
0.001mm |
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*可根据客户要求，并可为客户定制
